速 度
触 力  
频 率
成 份
 
气 体
电 压
 
电 流
姿 态
 
地 磁
门 禁
 
人 体
破 碎
 
浸 水
电 量
 
 
气体流量传感器(一)
HoneyWell 美国
AMW系列
型 号 AWM3100V AWM3200V AWM3300V AWM5000V AWM43300V AWM43600V
量 程(sccm) 0~+200 0~+60(±20) 0~+1000 0~5/10/15/20
SLPM
+1000 +6 SLPM
压 力 -- 0~+5 mbar -- -- -- --
工作电源
电压(VDC)
电流(mA)
功率(mW)

10.0±0.01
3 max
30 typ

10.0±0.01
3 max
30 typ

10.0±0.01
3 max
30 typ

10.0±0.01
--
100 max

10
6
60

10
7.5
75
外/内管径(mm) 5.1/3.6 5.1/3.6 5.1/3.6 1/4″
NPT/平滑接口
3.0/2.3 3.0/2.3
响应时间(ms) 3 Max 3 Max 3 Max 6 Max 3 Max 3 Max
输出电压(VDC) 5±0.15
@200 sccm
5±0.15
@1000 sccm
5±0.15
@4.98 mbar
5±0.15
@FSO
5±0.15
@1000 sccm
5±0.15
@6 SLPM
零点电压(VDC) 1.0±0.05 1.0±0.1 1.0±0.05 1.0±0.05 1.0±0.05 1.0±0.05
输出电压漂移
-25~25℃
25~85℃
(%FSO)

±6.0
-7.0

+24.0
-24.0

±6.5
±9.0

±7(VA/VN)
±10(VC)

-5.0
+6.0

-5.0
+6.0
零点漂移(mv)
-25~85℃
±25 ±100 ±25 ±50 (typ)
±200 (max)
±25 ±250
灵 敏 度
(mV/sccm)
20@200sccm 0.8V/mbar
@±4.98mbar
4 @200sccm 0.8VDC/SLPM
可调
5@±1000sccm 833mV/SLPM
@6 SLPM
迟滞、重复性
(%FSO)
±0.50 max ±0.50 max ±1.0 max ±0.50 ±0.50 max ±1.00 max
工作温度(℃) -25~+85 -25~+85 -25~+85 -20~+70 -25~+85 -25~+85
存储温度(℃) -40~+90 -40~+90 -40~+90 -40~+90 -40~+90 -40~+90
压差(mbar) 0.5
@±200sccm
0.5
@±200sccm
1.5
@±1000sccm
0.6 typ 可调 2.5@FSO 19.9@FSO
过压(mbar) 345 345 345 3500 150 psi max 150 psi max
 
气体流量传感器(二)
日本 YAMATAKE
CMS 系列
型 号 CMS0020 CMS0050 CMS200 CMS1500
工作量程
(sL/min)
0~20 0~50 0~200 0~1500
检测介质 氮气、空气、氧气、氢气、煤气、甲烷、丙烷、丁烷 氮气、空气
测量精度 ±5% RD±1字 ±5% RD±1字 ±5% RD±1字 ±5% RD±1字
重复精度 ±1%FSO ±1%FSO ±1%FSO ±1%FSO
输出电压 0~5VDC 0~5VDC 0~5VDC 4~20mA
报警输出 两点 两点 两点 两点
外观样式 带显示器/不带显示器 带显示器/不带显示器 带显示器/不带显示器 不带显示器
工作压力 0~0.5MPa 0~0.5MPa 0~0.5MPa 0~0.5MPa
0.5~1.0Pa
破坏压力 树脂型:0.75MPa
SUS型:1.0MPa
树脂型:0.75MPa
SUS型:1.0MPa
1.MPa 1.5MPa
工作温度(℃) 0~50 0~50 0~50 0~50
存储温度(℃) -20~+70 -20~+70 -20~+70 -20~+70
湿度范围 10~90%RH(无结露) 10~90%RH(无结露) 10~90%RH(无结露) 10~90%RH(无结露)
工作电源(VDC) 12~24 12~24 12~24 12~24
连接方式 Rc1/4内螺纹 Rc1/4内螺纹 Rc1/2内螺纹 Rc1.0内螺纹
 
数字流量调节器(三)
日本 YAMATAKE
CMQ 系列
型 号 CMQ0002 CMQ0005 CMQ0020 CMQ0050
控制范围
(sL/min)
0.02~2.0 0.04~5.0 0.2~20 0.4~50
检测介质 氮气、空气、氧气、氩气、二氧化碳、煤气、甲烷、丙烷、丁烷
测量精度 ±1% ±2% ±1% ±1%
重复精度 ±0.5%FSO ±1%FSO ±0.5%FSO ±0.5%FSO
外部输入 外部3段切换输入:1点,外部输入:2点
输出信号 0~5/1~5 VDC 0~5/1~5 VDC 0~5/1~5 VDC 0~5/1~5 VDC
报警输出 故障:1点,事件:两点 故障:1点,事件:两点 故障:1点,事件:两点 故障:1点,事件:两点
外观样式 显示器一体
显示器分体
不带显示器
显示器一体
显示器分体
不带显示器
显示器一体
显示器分体
不带显示器
显示器一体
显示器分体
标准差压 98KPa 98KPa 98KPa 196KPa
必要差压 49KPa 4.9KPa 49KPa 98KPa
动作差压 0.98~294KPa 0.49~49KPa 0.98~294KPa 0.98~294KPA
破坏压力 980 KPa 980 KPa 980 KPa 980 KPa
工作温度(℃) -10~60 -10~60 -10~60 -10~60
存储温度(℃) -20~+70 -20~+70 -20~+70 -20~+70
湿度范围 10~90%RH(无结露) 10~90%RH(无结露) 10~90%RH(无结露) 10~90%RH(无结露)
工作电源 15~24 VDC 15~24 VDC 15~24 VDC 15~24 VDC
连接方式 9/16-18UNP(标准)、RC 1/4、1/4外螺母
 
数字流量调节器(四)
日本 YAMATAKE
CMG 系列
型 号 CMG150 CMG250 CMG400 CMG500
检测介质 空气、煤气、丁烷、LPG
工作量程
(Nm3/h)
0.1~4 0.3~80 2.0~150 2.0~150
测量精度 ±0.5% ±0.5% ±0.5% ±0.5%
输出信号 0~5VDC、4~20mA、积算流量(30VD、50mA NPN开集)、继电器(阻型负载:250VAC、30VDC、5A)
报警输出 两点 两点 两点 两点
工作压力 0~98KPa 0~98KPa 0~98KPa 0~98KPa
破坏压力 147KPa 147KPa 147KPa 147KPa
工作温度(℃) -10~60 -10~60 -10~60 -10~60
存储温度(℃) -20~+70 -20~+70 -20~+70 -20~+70
湿度范围 40C 90%RH以下(无结露) 40C 90%RH以下(无结露) 40C 90%RH以下(无结露) 40C 90%RH以下(无结露)
工作电源 24VDC/AC100V/AC200V 24VDC/AC100V/AC200V 24VDC/AC100V/AC200V 24VDC/AC100V/AC200V
连接方式 1/2Rc 1Rc 3/2Rc 2Rc

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